纳米真空互联实验站（Nano-X）是世界首个按国家重大科技基础设施标准在建的集材料生长、器件加工、测试分析为一体的纳米领域大科学装置，由具有若干综合功能的材料制备平台、器件工艺平台、测试分析平台组成。实验站通过超高真空管道把各功能设备相互连接，解决了传统超净间模式中难以解决的尘埃、表面氧化和吸附等污染问题。