工程进展
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超高真空多腔体镀膜系统安装调试成功
2021-12-07 -
二维（掠入射）小角/广角X射线散射线站 （2D (GI)SAXS/WAXS）安装调试成功
2021-06-02 -
低温强磁场宽光谱探针台（E-probe）安装调试成功
2020-09-15 -
变温扫描探针显微镜（VT-SPM）安装调试成功
2020-06-23 -
扫描俄歇探针显微镜（SAM）安装调试成功
2020-03-20 -
纳米真空互联实验站（小型验证装置）建设项目顺利通过总验收
2019-06-12 -
纳米真空互联实验站一期项目通过“工艺专业组验收“
2019-03-28 -
纳米真空互联实验站二期建设进展
2019-03-18 -
纳米真空互联实验站搬迁工作进展
2018-12-28 -
纳米真空互联实验站真空管道与传输系统建设进展
2018-11-01
