纳米真空互联实验站（Nano-X）已建成世界上规模最大、功能最齐全的真空互联大科学综合实验装置。实验站通过超高真空管道把各功能设备相互连接，解决了传统超净间模式中难以解决的尘埃、表面氧化和吸附等污染问题。纳米真空互联实验站由具有若干综合功能的材料制备平台、器件工艺平台、测试分析平台组成。