SPM组:
组长：李坊森 研究员、袁秉凯 副研究员
组员：龚忠苗、陈爱喜、冀连连、张莹莹、李浩
材料生长组:
组长：魏伟 高级工程师
组员：张亚宾、张俊楠、蒋勤文
质谱/能谱组:
组长：黄荣 高级工程师
组员：李治云、孔亚萍、王鹏栋、李逸凡、杨双莉
光谱组:
组长：翁雪霏 副研究员
组员：葛啸天、张青、许蕾蕾、国玥、刘洋
器件工艺一组:
组长：刘通 高级工程师
组员：沈阳、胡楠、王虎、荣毅、袁敏、郭天泓、项超
器件工艺二组:
组长：陈懿尧 副研究员、徐轶君 高级工程师
组员：刘宏伟
厂务:
组长：陈明春 高级工程师
组员：吴建华、罗志文、许明建、程志松
