XPS

一、设备简介

 X射线光电子能谱仪（XPS）

二、设备型号和关键性能参数

型号：赛默飞ESCALAB Xi+

关键性能参数：

微聚焦单色化Al Kα X射线光源：20μm~900μm连续可调

高能单色化Ag靶

荷电中和系统：磁透镜+同轴电子中和源+离轴低能离子/电子的双束中和源

氩团簇离子枪：具备单原子离子和团簇离子两种模式，团簇大小可调

用于电子成像和电荷中和的同轴电子枪：1~5eV，500~1000eV

快速高分辨平行成像: 空间分辨率优于1μm

变温样品台：室温~1000 K

拓展功能：UPS、ISS、REELS

三、应用范围

元素的定性，定量及价态分析

表面元素快速平行成像分析

材料纵向深度组成与结构分析

四、设备特色

双阳极单色化X射线源

快速平行成像：XPI平行化学成像功能、微区回溯成谱

紫外光电子谱（UPS ）：紫外光激发原子外层轨道电子，分析材料能带结构、电子态密度

离子散射谱（ISS） ：适用于超薄表面的元素鉴定和同位素鉴定

反射电子能量损失谱（ REELS ）：H元素鉴定，弥补XPS不能分析H的不足

五、应用领域

微电子学，催化，摩擦学，缺陷分析，生物医学等