UHV-AFM

一、设备简介

二、设备型号、关键性能参数

设备型号：自研UHV-AFM

关键性能参数：

工作压力：超高真空（~5×10^-8Pa）

空间分辨率：Z方向优于0.3 nm 表面电势分辨率：~10 mv

样品尺寸：2英寸

三、设备原理
音叉式AFM技术是利用石英音叉型力传感器代替传统的硅悬臂传感器，音叉携带固定在一端的探针在压电陶瓷激励下以一定频率振动，通过压电效应检测针尖靠近样品时悬臂振动信号，获得样品表面的形貌。该技术能够使针尖在距离样品表面更近的范围以很小的振幅（~1 A）振动，使得测量局域的短程力更加精准，拓展了AFM测量精度和范围。

四、应用范围

高质量的表面形貌图像

表面电势成像

五、应用领域
化合物半导体、纳米功能材料等