超高真空光学测试系统（UHV-Raman&PL）
| 设备型号：自研 关键性能参数与特色： • 配置激光器：325nm、375nm、405nm、532nm、 超连续光源、fs laser等 • 光谱分辨率：<1cm-1；光谱测试范围：200nm-2000nm；Raman空间分辨率：~1.5μm • 真空度：5x10-8 Pa；温度范围（液氮制冷）： -140~200℃ • 位移控制：行程Z方向800mm，XY方向25mm，精度0.5μm • 配置四电极，满足光电流测试需求 • 预留气氛控制系统的接入 主要功能： • 光致发光光谱、拉曼光谱、荧光寿命等 主要应用领域： 光谱在材料科学中是物质结构研究的有力工具，在相组成界面、晶界等课题中可以做很多工作。包括： • 薄膜结构材料拉曼研究：拉曼光谱已成CVD（化学气相沉积法）制备薄膜的检测和鉴定手段。拉曼可以研究单、多、微和非晶硅结构以及硼化非晶硅、氢化非晶硅、金刚石、类金刚石等层状薄膜的结构 • 超晶格材料研究：可通过测量超晶格中的应变层的拉曼频移计算出应变层的应力，根据 拉曼峰的对称性，知道晶格的完整性 • 半导体材料研究：拉曼光谱可测出经离子注入后的半导体损伤分布，可测出半磁半导体 的组分，外延层的质量，外延层混品的组分载流子浓度
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