一、设备简介
二、设备型号和关键性能参数
型号：Asylum Research MFP-3D
生产厂家：牛津仪器
主要配置：head、controller、base、scanner
样品尺寸：2英寸晶圆，小样品放载玻片
三、性能指标/主要用途
表面形貌（粗糙度）、力学和电学性质表征：
具备接触、轻敲模式测形貌像。X/Y轴的闭环噪音分别为573.01 pm和533.74 pm，Z轴的闭环噪音为170.87 pm
X，Y方向的非线性度<0.5%
表面电势：
表面电势可分辨表面两点电势差绝对值
