科学研究

OXFORD原子力显微镜

 

设备简介

 

二、设备型号和关键性能参数

型号:Asylum Research MFP-3D

生产厂家:牛津仪器

主要配置:head、controller、base、scanner

样品尺寸:2英寸晶圆,小样品放载玻片

 

 

三、性能指标/主要用途

表面形貌(粗糙度)、力学和电学性质表征:

具备接触、轻敲模式测形貌像。X/Y轴的闭环噪音分别为573.01 pm和533.74 pm,Z轴的闭环噪音为170.87 pm

X,Y方向的非线性度<0.5%

表面电势:

表面电势可分辨表面两点电势差绝对值