一、设备简介
二、设备型号和关键性能参数
型号:Asylum Research MFP-3D
生产厂家:牛津仪器
主要配置:head、controller、base、scanner
样品尺寸:2英寸晶圆,小样品放载玻片
三、性能指标/主要用途
表面形貌(粗糙度)、力学和电学性质表征:
具备接触、轻敲模式测形貌像。X/Y轴的闭环噪音分别为573.01 pm和533.74 pm,Z轴的闭环噪音为170.87 pm
X,Y方向的非线性度<0.5%
表面电势:
表面电势可分辨表面两点电势差绝对值