威格模块化手套箱组

一、设备简介

二、关键性能参数

设备型号：MBE-CLUSTER

箱体尺寸：2400 mm×750 mm×900 mm

水、氧含量控制：低于1 ppm

配有大、小过渡舱及气体纯化系统

三、设备原理

超洁净异质材料制备与表征

器件处理及表界面互联研究

复杂多环境模拟与失效分析

四、设备特色

光电手套箱：内置荧光外量子效率测试仪，支持材料制备与光电参数检测

锂电手套箱：集成真空热蒸发金属镀膜机，满足高活泼金属的蒸镀与表征

二维手套箱：配置全自动二维材料转移系统，实现二维异质结的精准堆叠与结构表征

多环境模拟手套箱：支持水蒸气浓度、气体组成的精准调控，可模拟各类极端环境

传送手套箱：全自动传送系统，支持手套箱集联与真空互联，水氧含量波动

五、应用领域

材料科学与新能源、化学与生物医药、电子与光电器件、精密检测与失效分析