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      工程进展
 
工程进展
 

纳米真空互联实验站真空管道与传输系统建设进展

        截止2018年10月底,在真空与设备系统部张永红研究员带领下,纳米真空互联实验站真空管道与传输系统建设取到重大进展。

          1.示范线建设进展

      2017年,B201实验室搭建完成了总长约45米的真空管道与传输系统示范线,该示范线由1套进样室,8套过渡室,13套传输室和2套中转过渡室组成。于2018年1月,正式投入工作运行。各真空单元的静态真空优于2.0×10-10 Torr,真空环境稳定,动态真空度优于8.0×10-10 Torr。

       真空管道与传输系统示范线通过单元控制程序、支线控制程序、总控制程序分层对系统各功能进行自动控制,可实现电动磁力杆自动取样、支线调度小车、标定和识别小车和样品、报警提示和清除、真空度实时曲线查看、跨支线自动调度小车、多车同时调度、自动让车等功能。

    目前,示范线上已对接7台设备,包括:2台MOCVD、1台XPS、1台PEALD、1台磁控溅射仪、1台TOF-SMIS和1台MBE,累计已传样400多次。

           2.上善苑管道与传输系统建设进展

       2018年7月底,完成一期真空管道与传输系统的安装和调试,包括:27套传输室、4套进样室模块、6套过渡室和2套中转过渡室,真空管道全长约91米,目前,一期真空管道与传输系统正在进行一些微调,但各单元极限真空度大多已优于2.0×10-10 Torr,总控程序和支线控制程序已完善,可实现总控程序跨线调车和多车同时运行,各支线控程序在支线内调度小车和控制支线的逻辑功能,小车已在管道内正常运行260小时。

          纳米真空互联实验站真空管道与传输系统建设仍在继续,我们将不断在工程、技术领域实现突破,敬请期待!

一期真空管道与传输系统