欢迎访问Nano-X纳米真空互联实验室
世界首个按国家重大科技基础设施标准在建的集材料生长、器件加工、测试分析为一体的纳米领域大科学装置
纳米真空互联实验站由具有若干综合功能的材料制备平台、器件工艺平台、测试分析平台组成。
德国Fritz-Haber研究所Hans-Joachim Freund教授来所访问交流>
德国Fritz-Haber研究所Hans-Joachim Freund教授来所访问交流
2019
05-14
纳米真空互联实验站(Nano-X)是世界首个按国家重大科技基础设施标准在建的集材料生长、器件加工、测试分析为一体的纳米领域大科学装置,由具有若干综合功能的材料制备平台、器件工艺平台、测试分析平台组成。实验站通过超高真空管道把各功能设备相互连接,解决了传统超净间模式中难以解决的尘埃、表面氧化和吸附等污染问题。
纳米真空互联实验站搬迁工作进展
纳米真空互联实验站真空管道与传输系统建设进展
极低温强磁场扫描隧道显微镜(ULT-STM)安装调试成功
臭氧发生及提纯装置安装调试成功
III-V MBE
Oxide-MBE
自研MBE-STM
Cat-MBE